shuwaind晶圓貼片機

立式平面磨床 SGM-8000 是一種可以輕松快速地高精度磨削難切削材料（藍寶石、SiC、GaN 等）的設(shè)備。砂輪軸承與工件軸承垂直排列，各軸承旋轉(zhuǎn)，砂輪軸承進給到工件軸承一側(cè)進行磨削。此時，砂輪軸承往復(fù)擺動（新shuwaind晶圓貼片機KBM-100的介紹

產(chǎn)品型號：KBM-100
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2023-04-20
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shuwaind晶圓貼片機KBM-100的介紹

立式平面磨床 SGM-8000 是一種可以輕松快速地高精度磨削難切削材料（藍寶石、SiC、GaN 等）的設(shè)備。砂輪軸承與工件軸承垂直排列，各軸承旋轉(zhuǎn)，砂輪軸承進給到工件軸承一側(cè)進行磨削。此時，砂輪軸承往復(fù)擺動（新機構(gòu)），可將脆性材料基板磨削成薄片且損傷小。最大加工直徑為Φ300，可批量加工，生產(chǎn)率高。

特點

搖擺機構(gòu)
在砂輪軸承來回擺動的同時進行磨削。此時，磨削應(yīng)力在橫向上得到緩和，加工變質(zhì)層變淺，可以進行損傷小的磨削，可以將基板加工得更薄。
過載感應(yīng)系統(tǒng)
如果在磨削過程中施加超過設(shè)定值的載荷，進給會倒退，暫時釋放磨石和工件上的應(yīng)力，重新開始進給。該系統(tǒng)可防止工件承受強應(yīng)力，從而實現(xiàn)磨削時損傷較小。

間歇供料系統(tǒng)
在重復(fù)進給和間隔的同時進行磨削。它去除間隔之間的切屑，冷卻金剛石砂輪，降低磨削應(yīng)力，從而可以輕柔地磨削工件。

零接觸系統(tǒng)
該裝置檢測砂輪與工件接觸的位置，并自動設(shè)定原點位置。
振蕩
當磨削進行到目標尺寸值時，磨石在不超過設(shè)定值的范圍內(nèi)上下擺動。可以獲得更高的平面度和均勻的表面粗糙度。
自動測量系統(tǒng)
工件厚度在加工過程中自動測量，剩余磨削量由設(shè)備根據(jù)該數(shù)據(jù)自行計算，并再次磨削。研磨可全自動完成。無需在設(shè)備外測量工件厚度，可減少工序人工。

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