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ulvac-kiko小型 蒸發(fā)設(shè)備 壓力測(cè)量口 真空計(jì)

ulvac-kiko小型 蒸發(fā)設(shè)備 壓力測(cè)量口 真空計(jì)VPC-1100
將架臺(tái)上的油擴(kuò)散泵，油回轉(zhuǎn)泵，皮拉尼真空計(jì)，閥門(mén)配管，電氣系統(tǒng)，壓力測(cè)量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開(kāi)發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：VPC-1100
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2023-04-11
  • 訪  問(wèn)  量：524
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ulvac-kiko小型 蒸發(fā)設(shè)備 壓力測(cè)量口 真空計(jì)VPC-1100

ulvac-kiko小型 蒸發(fā)設(shè)備 壓力測(cè)量口 真空計(jì)VPC-1100

將架臺(tái)上的油擴(kuò)散泵，油回轉(zhuǎn)泵，皮拉尼真空計(jì)，閥門(mén)配管，電氣系統(tǒng)，壓力測(cè)量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。

適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開(kāi)發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。


特點(diǎn)

  • 玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。

  • 可以在不停止主泵的情況下打開(kāi)真空槽。

  • 通過(guò)追加蒸發(fā)電源和電極，可同時(shí)蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。

  • 更改為EB規(guī)格，可成膜高熔點(diǎn)的材料。

  • 蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動(dòng)更為容易。

  • 帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的安全性。

規(guī)格

型式VPC-1100
真空性能極限壓力4.0×10-４Pa
1.3×10-４Pa（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
排氣時(shí)間4.0×10-３Pa/10min
10-４Pa臺(tái)/10min（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
真空槽真空槽玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ390mm×高350mm)
饋通圈20端口(側(cè)面14/底面6)
基板推薦尺寸?最大尺寸□50mm ? □220mm（Max）
電源系統(tǒng)蒸發(fā)電極構(gòu)成3點(diǎn)式
蒸發(fā)電源?數(shù)量SEREM PSE-150C?1 式
0～10V 150A（Max)
排氣系統(tǒng)主泵油擴(kuò)散泵（水冷）　1100L/sec
液體氮?dú)獠都?/span>有
補(bǔ)助泵油回轉(zhuǎn)泵　200L/min、2臺(tái)
油霧捕集器選項(xiàng)
操作系統(tǒng)主閥蝶閥
補(bǔ)助閥三通閥
自動(dòng)泄露閥選項(xiàng)
操作手動(dòng)
控制系統(tǒng)皮拉尼真空計(jì)GP-1G
電離真空計(jì)選項(xiàng)
設(shè)置最大尺寸　　本體1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H）
　　　　　　電源設(shè)備本體收納






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