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更新時(shí)間：2024-04-03 
瀏覽次數(shù)：289日本KOFLOPI型號(hào) ST-500 系列質(zhì)量流量控制器的介紹
PI…壓力不敏感
可針對(duì)壓力波動(dòng)進(jìn)行穩(wěn)定的流量控制。
帶隔膜式閥門的金屬密封MFC ，
通過EP處理和氧化膜處理，
可兼容腐蝕性流體。
兼容DeviceNet通信
與 W 密封配件兼容
SP精度可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，
1秒內(nèi)響應(yīng)全流量控制范圍
帶有專用應(yīng)用程序的多范圍功能
現(xiàn)有型質(zhì)量流量控制器在供給側(cè)
通過對(duì)壓力變動(dòng)過敏反應(yīng)，瞬間變大
由于流量紊亂等，當(dāng)控制變得不穩(wěn)定時(shí)
有這樣的課題。
ST-500具有解決該問題PI功能
（PI…壓力不敏感（壓力不靈敏）
是新配備的質(zhì)量流量控制器。
在流量傳感器前段搭載有壓力傳感器，
將由此捕捉到壓力變動(dòng)與變動(dòng)前的壓力進(jìn)行比較
并實(shí)時(shí)地對(duì)閥開度進(jìn)行校正
由此，能夠?qū)毫ψ儎?dòng)進(jìn)行穩(wěn)定流量控制
是有可能的。
需要半導(dǎo)體制造裝置等穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性
適用于氣體供給工藝。
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